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當前位置:首頁技術文章高精度粒子計數器在顯示面板潔凈室環境監控中的關鍵作用

高精度粒子計數器在顯示面板潔凈室環境監控中的關鍵作用

更新時間:2025-08-14點擊次數:363

  近年來,全球平板顯示面板市場規模持續擴大,下游消費電子領域(電視、電腦、手機等)以及商用顯示、車載顯示、醫療顯示等專業顯示市場需求持續增長。為應對市場擴容需求,LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率,以確保終端市場產品供應并維持市場競爭優勢。

  影響LCD與OLED質量的核心要素

  在平板顯示制造工藝中,顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關鍵因素。隨著器件小型化與精密化發展,高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級,這使得生產工藝對顆粒污染更為敏感。基底表面顆粒沉積易引發點缺陷甚至線缺陷,直接導致產品良率下降。

  靜電污染問題同樣不容忽視。材料間電子能級差異導致接觸時發生電荷轉移,由此產生的靜電吸附(ESA)效應會強力吸附周圍微粒,此類污染難以通過常規清潔手段去除。此外,靜電放電(ESD)與電磁干擾引發的設備故障也會對制程穩定性造成威脅。

  潔凈室實時顆粒物監控解決方案的價值

  通過實施潔凈室環境顆粒物實時監測系統,可及時識別顆粒濃度超標風險,并采取針對性防控措施。該方案能有效降低空氣懸浮顆粒沉降造成的基底表面污染,同時緩解靜電吸附(ESA)導致的次生污染,從而系統性提升產品良率。


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  四方光電在線激光塵埃粒子計數器技術優勢

  四方光電依托成熟的光散射技術,開發出OPC-6303/OPC-6510/OPC-6511/OPC-6503系列在線或便攜型粒子計數器。該產品線具有以下核心優勢:

  ?采用工業級大功率線性激光源,確保>98%的粒子識別精度與計數效率

  ?支持多通道定制化粒徑分級(標準配置含0.3μm、0.5μm、1.0μm、2.5μm、5μm、10μm)

  ?連續穩定采樣設計,MTBF超過30,000小時

  ?符合ISO21501-4、ISO14644-1:2015等國際標準,適用于百級至十萬級潔凈環境

  ?該系列產品已通過RoHS認證,在TFT-LCD陣列制程、OLED蒸鍍工藝等關鍵制程環節實現規模化應用

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